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電子機器事業本部

シリコンウェーハの厚さ測定

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アプリケーションノート

アプリケーションノート

メーカー : θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計
型番 : FRシリーズ
分野・用途 : シリコンウェーハの厚さ測定 , 板厚測定 , 膜厚測定

分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例 詳細はこちら→

FR-pRo / 光学式非接触膜厚測定器

FR-pRo / 光学式非接触膜厚測定器

メーカー : θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計
型番 : FR-pRo
分野・用途 : 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定

卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。 詳細はこちら→

FR-Scanner / 自動膜厚マッピングシステム

FR-Scanner / 自動膜厚マッピングシステム

メーカー : θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計
型番 : FR-Scanner
分野・用途 : 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定

卓上型自動膜厚マッピングシステムです。製造プロセスにおけるカセットシステムにも応用が可能です。例えばCMP後のポリシリコン膜や酸化膜の厚さムラを無駄のない理にかなったステージモーションで高速に測定します。そのため製造プロセスにおけるタクトタイムの短縮に貢献します。
測定時間目安:625ヶ所/1分(8インチウェーハにて等間隔測定時) 詳細はこちら→

製品情報
環境計測機器・バイオ機器
EMC・アンテナ計測
オプトエレクトロニクス
SPEAG / ZMT
AV計測器
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トータルサポート
高周波(EMC)製品サポート
SAR測定サービス
アンテナ3次元放射パターン測定サービス
材料測定 誘電率測定サービス
電磁界シミュレーション解析サービス
デモ/トレーニング
海外進出支援
VGEL(Shenzhen)Company Limited
新着情報
新着情報一覧
2019.05.08
日本地球惑星科学連合2019年大会(JpGU2019)出展のお知らせ
2019.04.01
電子機器事業の事業譲渡のお知らせ
2018.12.20
マイクロウェーブ展2018に出展致しました
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