電子機器事業本部
シリコンウェーハの厚さ測定
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アプリケーションノート
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計 |
|---|---|
| 型番 : | FRシリーズ |
| 分野・用途 : | シリコンウェーハの厚さ測定 , 板厚測定 , 膜厚測定 |
分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例 詳細はこちら→
FR-pRo / 光学式非接触膜厚測定器
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計 |
|---|---|
| 型番 : | FR-pRo |
| 分野・用途 : | 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定 |
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程（半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll）への取付にも柔軟に対応します。 詳細はこちら→
FR-Scanner / 自動膜厚マッピングシステム
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計 |
|---|---|
| 型番 : | FR-Scanner |
| 分野・用途 : | 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定 |
卓上型自動膜厚マッピングシステムです。製造プロセスにおけるカセットシステムにも応用が可能です。例えばCMP後のポリシリコン膜や酸化膜の厚さムラを無駄のない理にかなったステージモーションで高速に測定します。そのため製造プロセスにおけるタクトタイムの短縮に貢献します。
測定時間目安：625ヶ所/1分（8インチウェーハにて等間隔測定時） 詳細はこちら→
