電子機器事業本部
θ Metrisis (ThetaMetrisis)
社名：ThetaMetrisis，SA (θ Metrisis社 (シータメトリシス社))
国名：ギリシャ
設立：2011年
独自に開発されたアルゴリズムで膜厚を高精度・非接触・瞬時に測定します。測定下限は3nmであり酸化膜はもちろん、各種半導体材料、ディスプレイ材料（カラーレジスト、ポリイミド、ITO）、各種機能性薄膜（反射防止コーティング、ハードコート膜、潤滑油膜、フッ素コーティング、DLC）、機能性フィルム（離形処理層、易接着処理層、PETフィルムなどの原反厚）、Roll to Rollプロセスでのリアルタイムインライン測定ができます。更には豊富なオプション/アクセサリーを用意しており従来困難であった基材表面が粗い薄膜の厚さ測定や形状物、塗工現場での膜厚測定を可能にします。
製品分野・用途などを指定して絞り込み
アプリケーションノート
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) |
|---|---|
| 型番 : | FRシリーズ |
| 分野・用途 : | シリコンウェーハの厚さ測定 , 板厚測定 , 膜厚測定 |
分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例 詳細はこちら→
FR-pRo / 光学式非接触膜厚測定装置
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) |
|---|---|
| 型番 : | FR-pRo |
| 分野・用途 : | 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定 |
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程（半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll）への取付にも柔軟に対応します。 詳細はこちら→
FR-pOrtable / 光学式非接触膜厚測定装置
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) |
|---|---|
| 型番 : | FR-pOrtable |
| 分野・用途 : | 膜厚測定 , フィルムインライン膜厚モニター , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定 |
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程（半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll）への取付にも柔軟に対応します。 詳細はこちら→
FR-µProbe / 微小領域膜厚測定装置
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) |
|---|---|
| 型番 : | FR-µProbe |
| 分野・用途 : | 顕微分光システムおよび顕微鏡 , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定 |
極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア（測定スポットサイズ）や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。 詳細はこちら→
FR-Scanner / 自動膜厚マッピング装置
| メーカー : | θ Metrisis (ThetaMetrisis) |
|---|---|
| 型番 : | FR-Scanner |
| 分野・用途 : | 膜厚測定 , 板厚測定 , シリコンウェーハの厚さ測定 , 分光反射率の測定 |
卓上型自動膜厚マッピング装置です。製造プロセスにおけるカセットシステムにも応用が可能です。例えばCMP後のポリシリコン膜や酸化膜の厚さムラを無駄のない理にかなったステージモーションで高速に測定します。そのため製造プロセスにおけるタクトタイムの短縮に貢献します。
測定時間目安：625ヶ所/1分（8インチウェーハにて等間隔測定時） 詳細はこちら→
